钟结实，北京北方华创微电子装备有限公司技术总监，高级工程师。1984年12月生，河南汝州人。现就职于北京北方华创微电子装备有限公司，任立式炉事业部控制技术总监。2003-2007在洛阳师范学院电子信息科学与技术专业学习， 2010年毕业于西北工业大学导航、制导与控制专业，获工学硕士学位。同年加入北京北方华创微电子装备有限公司立式炉研发团队，一直从事300mm立式氧化炉/LPCVD设备控制系统研发工作，先后参与了国家科技重大专项02专项中的“300mm 90/65nm立式氧化炉/质量流量控制器研发及产业化”项目、“45-32nm LPCVD设备产业化”项目和国家科技重大专项02专项中的“硅材料设备应用工程”项目中的“300mm硅片立式高温退火炉的开发”项目。主导设备控制系统研发，核心课题包括：高效物料传输调度控制系统，先进温度控制技术，高精度压力控制技术，高可靠性Recipe控制技术，Interlock技术，高可配置Alarm异常处理系统，AGC系统，300mm SEMI标准实现等。以发明人身份申请专利19篇，其中授权10篇。项目设备的成功研发打破了国外技术垄断，填补了国内空白。设备稳定性及可靠性指标已达到国际同类设备的先进水平，产品的产业化生产已初具规模，初步实现了300mm集成电路生产线的市场化应用，进入了国内市场，填补了国内产业空白。对我国半导体集成电路制造装备产业的发展具有重大意义。