扫描式电子显微镜

台式扫描电子显微镜(Desktop Scanning Electron Microscope, Desktop SEM)的概念是由美国FEI公司(1997年原FEI和飞利浦电子光学合并而成)提出的，并于2006年正式发布了旗下的Phenom飞纳台式扫描电镜，而后于2009年成立Phenom-World(飞纳世界)公司，专业研发并生产台式扫描电镜。相较于传统大型SEM，台式扫描电镜具有体积小巧、操作简便、价格便宜、快速抽真空、不用喷金测量不导电样品等优势，而且它的放大倍数可高达130,000倍。此类新型仪器的出现填补了光学显微镜与传统大型扫描电子显微镜之间的空白区域，可广泛应用于材料科学、纳米颗粒、生物医学、食品药品、纺织纤维、地质科学等诸多领域。